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'''扫描探针显微镜'''('''{{lang|en|Scanning probe microscopy}}''','''{{lang|en|SPM}}''')是所有机械式地用物理[[探针]]在[[样本]]上扫描移动以探测样本[[影像]]的[[显微镜]]的统称。其影像[[解析度]]主要取決于探针的大小〔通常在[[纳米]]的范围〕。[[扫描隧道显微镜]]是第一个被发明的扫描探针显微镜〔1981年〕,这是一种用于在原子水平表面成像的仪器。第一次成功的扫描隧道显微镜实验由Binnig和Rohrer完成。他们成功的关键是使用反馈回路来调节样品和探针之间的间隙距离<ref name="SalapakaSalapaka2008">{{cite journal|last1=Salapaka|first1=Srinivasa|last2=Salapaka|first2=Murti|title=Scanning Probe Microscopy|journal=IEEE Control Systems Magazine|volume=28|issue=2|year=2008|pages=65–83|issn=0272-1708|doi=10.1109/MCS.2007.914688}}</ref>。 |
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许多扫描探针显微镜可以同时用几种相互作用来成像。使用这些相互作用来获得图像的方式通常被称为模式。 |
许多扫描探针显微镜可以同时用几种相互作用来成像。使用这些相互作用来获得图像的方式通常被称为模式。 |
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== 种类 == |
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; AFM, [[原子力 |
; AFM, [[原子力显微镜]] |
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* 接 |
* 接触式 |
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* 非接 |
* 非接触式 |
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* |
* 动态接触式 |
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; EFM, [[ |
; EFM, [[静电力显微镜]] |
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; KPFM, |
; KPFM,开尔文探针力显微镜 |
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; MFM,磁力 |
; MFM,磁力显微镜 |
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; MRFM, 磁共振力 |
; MRFM, 磁共振力显微镜 |
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; NSOM, 近 |
; NSOM, 近场光学扫描显微镜;SNOM,扫描近场光学显微镜 |
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; PSTM,光子 |
; PSTM,光子扫描隧道显微镜 |
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; SCM, |
; SCM,电容扫描显微镜 |
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; SGM, |
; SGM, 门扫描显微镜 |
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; SThM, |
; SThM, 热扫描显微镜 |
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; STM, [[ |
; STM, [[扫描隧道显微镜]] |
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; SVM, |
; SVM, 扫描电压显微镜 |
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== 厂商 == |
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* [http://www.ntmdt.com/ 俄罗斯NT-MDT公司] |
* [http://www.ntmdt.com/ 俄罗斯NT-MDT公司] |
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* [http://www.veeco.com/ 美 |
* [http://www.veeco.com/ 美国维易科(Veeco)精密仪器有限公司] |
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== 参阅 == |
== 参阅 == |
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* [[表面科学]] |
* [[表面科学]] |
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== 参考资料 == |
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* JW Cross ''[http://www.mobot.org/jwcross/spm/ SPM - Scanning Probe Microscopy Website] |
* JW Cross ''[http://www.mobot.org/jwcross/spm/ SPM - Scanning Probe Microscopy Website] '' |
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{{扫描探针显微镜}} |
{{扫描探针显微镜}} |